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缅怀!光刻机巨头ASML创始人离世


6月11日消息,荷兰光刻机ASML巨头发文表示,公司创始人之一Wim Troost去世了,享年98岁。Wim Troost带领ASML度过了艰难的时期,领导着ASML努力争取第一个客户,他的远见、领导力和毅力激励了一代又一代人。

据悉,Wim Troost在ASML的早期阶段发挥了重要作用,在20世纪80年代,Wim Troost确保了与台积电的第一笔交易。此外,他在技术研发、公司运营等方面做出了贡献,与其他创始人一起推动了ASML的发展。

作为一家独立的公司,ASML成立于1984年。但在它独立之前,其前身飞利浦公司的物理实验室(简称Natlab)却已经与光刻机打了数十年的交道。

光刻机的研发还起源于飞利浦研发主管Leo Tummers要求他手下的年轻工程师Frits Klostermann制作一个芯片,1966年,Klostermann获批制造他研发出的光刻机。Klostermann也在这台光刻机的基础上和Natlab同事共同走上了不停地研发光刻机的道路。

尽管Klostermann的光刻机在飞利浦的芯片工厂中取得了成功,但是Natlab很难为其光刻机找到客户,而且之后研发出的步进光刻机也是十分昂贵并且复杂,这些劣势很难让光刻机进入工厂工作。飞利浦在光刻机上持否定意见。

救出光刻机的这个人,也是在1976年之后的几十年里代表性人物—Wim Troost,他是在飞利浦管理团队会议上唯一一个表示对光刻机有研究兴趣的人。

创造奇迹的人就是不畏艰难、不顾亏损、坚持光刻技术研发的人,Wim Troost一次又一次地摆脱了技术、资金的困难,在20世纪70年代末,他带领的S&I有着7500万美元的收入和很高的利润,飞利浦说“希望用光刻技术征服世界”。

但上世纪80年代初,飞利浦自身的财务状况陷入困境,出于降本增效的考虑,就打算出售其光刻机等非核心业务。

1983年,飞利浦在经历了和3家公司谈判失败后,所有人都士气低落。这个时候,先进半导体材料国际有限公司ASM在纳斯达克成功上市,令飞利浦看到这家公司。在飞利浦高层再一次明确必须放弃像光刻机这样的非核心业务后,必须抓住最后一次机会来挽救光刻机团队,阻止裁员的发生。1984年,飞利浦和ASM成立合资企业ASML。

经济危机打击了当时的巨头,但奇迹般地给了ASML喘息的时间,让它有足够的时间来重塑其研发和生产部门,因为当时刚刚起步的ASML,走错了油压技术路线、装配厂也还根本无法生产真正的大订单。

而短短四十载,ASML用先进技术将昔日光刻机大国美国拉下神坛,并以迅雷不及掩耳之势,战胜日本光刻机巨头佳能、尼康,成为世界上唯一能够制造7nm及以下EUV工艺的光刻机设备提供商。


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